Fechar

1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemtc-m16c.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP8W/35JL69H
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/07.02.19.28   (acesso restrito)
Última Atualização2009:07.02.19.28.07 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/07.02.19.28.09
Última Atualização dos Metadados2020:04.28.17.48.43 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE--PRE/
DOI10.1016/j.vacuum.2008.11.013
ISSN0042-207X
Chave de CitaçãoAmorimNaTrCoAlMo:2009:TwGrHF
TítuloTwo-step growth of HFCVD diamond films over large areas
Ano2009
MêsMar.
Data de Acesso04 maio 2024
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho212 KiB
2. Contextualização
Autor1 Amorim, A.
2 Nascente, P. A. P.
3 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus
4 Corat, Evaldo José
5 Alves, A. R.
6 Moro, J. R.
Grupo1
2
3 LAS-CTE-INPE-MCT-BR
4 LAS-CTE-INPE-MCT-BR
Afiliação1
2
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
RevistaVacuum
Volume89
Número7
Páginas1054-1056
Histórico (UTC)2010-03-11 16:27:55 :: simone -> administrator ::
2010-05-11 01:08:47 :: administrator -> banon ::
2010-05-14 14:04:05 :: banon -> administrator ::
2020-04-28 17:48:43 :: administrator -> simone :: 2009
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Palavras-ChaveHFCVD
Diamond
Two-step growth
Large area
ResumoThis paper reports the results of a two-step hot filament chemical vapor deposition method to improve the quality of diamond films. Diamond films were deposited on a Si(100) substrate having an area of 45 cm(2) and a thickness of 60 mu m. employing a HFCVD system. The first step is the growth of CVD diamond in the HFCVD reactor. In the second step, the samples were treated in a saturated solution of H2SO4:CrO3 and rinsed in a (1:1) solution of H2O2: NH4OH. After this procedure, a second diamond layer was deposited. The diamond films were analyzed by raman scattering spectroscopy (RSS). scanning electron microscopy (SEM), and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The films showed a high degree of purity with a thickness of 60 mu m, presenting uniform characteristics over a large area.
ÁreaFISMAT
Arranjourlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Two-step growth of...
Conteúdo da Pasta docacessar
Conteúdo da Pasta sourcenão têm arquivos
Conteúdo da Pasta agreementnão têm arquivos
4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo Alvotwo step.pdf
Grupo de Usuáriosadministrator
banon
simone
Visibilidadeshown
Política de Arquivamentodenypublisher denyfinaldraft24
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
5. Fontes relacionadas
Repositório Espelhosid.inpe.br/mtc-m18@80/2008/03.17.15.17.24
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
DivulgaçãoWEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX.
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m18@80/2008/03.17.15.17
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
atualizar 


Fechar