1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
Site | mtc-m16c.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP8W/35JL69H |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/07.02.19.28 (acesso restrito) |
Última Atualização | 2009:07.02.19.28.07 (UTC) administrator |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/07.02.19.28.09 |
Última Atualização dos Metadados | 2020:04.28.17.48.43 (UTC) administrator |
Chave Secundária | INPE--PRE/ |
DOI | 10.1016/j.vacuum.2008.11.013 |
ISSN | 0042-207X |
Chave de Citação | AmorimNaTrCoAlMo:2009:TwGrHF |
Título | Two-step growth of HFCVD diamond films over large areas |
Ano | 2009 |
Mês | Mar. |
Data de Acesso | 04 maio 2024 |
Tipo Secundário | PRE PI |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 212 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Amorim, A. 2 Nascente, P. A. P. 3 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus 4 Corat, Evaldo José 5 Alves, A. R. 6 Moro, J. R. |
Grupo | 1 2 3 LAS-CTE-INPE-MCT-BR 4 LAS-CTE-INPE-MCT-BR |
Afiliação | 1 2 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Revista | Vacuum |
Volume | 89 |
Número | 7 |
Páginas | 1054-1056 |
Histórico (UTC) | 2010-03-11 16:27:55 :: simone -> administrator :: 2010-05-11 01:08:47 :: administrator -> banon :: 2010-05-14 14:04:05 :: banon -> administrator :: 2020-04-28 17:48:43 :: administrator -> simone :: 2009 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Tipo do Conteúdo | External Contribution |
Palavras-Chave | HFCVD Diamond Two-step growth Large area |
Resumo | This paper reports the results of a two-step hot filament chemical vapor deposition method to improve the quality of diamond films. Diamond films were deposited on a Si(100) substrate having an area of 45 cm(2) and a thickness of 60 mu m. employing a HFCVD system. The first step is the growth of CVD diamond in the HFCVD reactor. In the second step, the samples were treated in a saturated solution of H2SO4:CrO3 and rinsed in a (1:1) solution of H2O2: NH4OH. After this procedure, a second diamond layer was deposited. The diamond films were analyzed by raman scattering spectroscopy (RSS). scanning electron microscopy (SEM), and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The films showed a high degree of purity with a thickness of 60 mu m, presenting uniform characteristics over a large area. |
Área | FISMAT |
Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Two-step growth of... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
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4. Condições de acesso e uso | |
Idioma | en |
Arquivo Alvo | two step.pdf |
Grupo de Usuários | administrator banon simone |
Visibilidade | shown |
Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
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5. Fontes relacionadas | |
Repositório Espelho | sid.inpe.br/mtc-m18@80/2008/03.17.15.17.24 |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 |
Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m18@80/2008/03.17.15.17 |
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6. Notas | |
Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
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7. Controle da descrição | |
e-Mail (login) | simone |
atualizar | |
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